净化工作台是一种提供局部无尘无菌工作环境的单向流型空气净化设备。广泛适用于医药卫生、生物制药、食品、医学科学实验、光学、电子、无菌室实验、无菌微生物检验、植物组培接种等需要局部洁净无菌工作环境的科研和生产部门。

在大型车间中按顺序排列的工作台（叫做工作层流罩）组成加工区，使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器（HEPA高效过滤器）。这些过滤器是由含许多小孔，并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成，由于高密度的小孔与大面积的过滤层，使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流，有利于工作台的洁净度，并且对于操作员而言，在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率，并可用于三种净化方法中。

一般来说，HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，在工作台表面改变方向，流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向，通常这种方式称为空气层流立式式（VLF）工作台，它是由空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器装于工作台后部，这种方式被称为空气层流平行（HLF）式工作台。

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